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API激光干涉仪XD信息
点击次数：58 更新时间：2025-08-29 打印本页面 返回
激光干涉仪介绍：
1D激光主要可以测量定位误差
??3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
??5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
技术参数：
??5D/6D标准型：
??1. 线性：0.5ppm .
??2. 测量范围：40米(1D可选80米)
??3. 线性分辨力：0.001um.
??4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
??5. 大范围：800角秒
??6. 滚动角精度：1.0角秒
??7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
??8. 直线度*大范围：500um
??9. 垂直度精度：1角秒
??10. 温度精度：0.2摄氏度
??11.湿度精度：5%
??12.压力精度：1mmHg
主要特点：
??1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
??2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
??3. 可选的无线遥控传感器*长的控制距离可到25米
??4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。
??5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架
??6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间
XD Laser被用于：
CMMICNC的校准、补偿
机床导轨平行度的测量
旋转轴的测量
垂直度的测量
对角线的测量
CNC反馈
机器人位置反馈
