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杭州光尺激光平直度测量仪PSD信息
点击次数:78 更新时间:2025-07-25 打印本页面 返回

PSD(位置敏感探测器)概述

PSD 是一种基于光电效应的光学传感器,核心功能是实时测量光点在探测面上的连续位置坐标(如 X、Y 轴坐标),广泛应用于位移检测、角度测量、光学对准等领域。

PSD 的结构组成

根据描述,其基本结构包括:

P 衬底:作为探测器的基底,提供结构支撑和电学连接基础。

PIN 光电二极管:核心感光元件,当光照射时,光子能量激发电子 - 空穴对,形成光电流,实现光信号到电信号的转换。

表面电阻:通常为均匀分布的电阻层(如 N 型半导体薄层),光电流会沿电阻层向两端电极流动,其电流分配与光点位置直接相关,通过测量电极电流即可计算光点坐标。

PSD 与 CCD 的核心差异及优势

CCD(Charge-Coupled Device,电荷耦合器件)是另一种常见的光学探测器,二者的核心区别体现在原理和性能上,PSD 的优势包括:

位置分辨率高:

PSD 通过电阻层的电流分布直接计算位置,理论分辨率可达纳米级;而 CCD 依赖像素阵列,分辨率受限于像素尺寸和数量。

光谱响应宽:

可响应从紫外到红外的较宽光谱范围,适用场景更广泛;CCD 的光谱响应通常受限于感光材料(如硅基 CCD 在红外波段响应较弱)。

响应速度快:

光电流的产生和传输几乎无延迟,响应时间可达微秒甚至纳秒级;CCD 需要电荷转移和读出过程,响应速度较慢。

位置信号与光斑形状无关:

只要光斑能量集中在探测面上,即使形状不规则(如弥散、畸变),也能准确输出位置信息;而 CCD 的位置测量依赖光斑在像素上的能量分布,易受形状影响。

PSD 的典型应用

由于上述特性,PSD 常用于对实时性、精度要求高的场景:

精密位移 / 振动监测(如机床校准、结构变形测量)

光学系统对准(如激光准直、望远镜调焦)

机器人视觉导航(如通过光斑定位实现路径跟踪)

生物医学检测(如微小物体运动轨迹记录)

PSD 的局限性在于无法直接获取光斑的灰度或图像信息(仅输出位置坐标),因此需根据具体需求与 CCD 等探测器配合使用。


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